分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據(jù)真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域。設備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、泵體加熱控制、電器控制系統(tǒng)、水冷卻保護控制等。
拆開包裝箱，將設備從箱體中取出，檢查設備有無損壞，將設備的電源線接好，將地線與設備機殼連接。如果是三相供電方式，初次通電時需要觀察機械泵的相序，打開總電源開關(guān)，觀察分子泵機組電源的相序指示燈，如果相序指示燈亮表明機械泵相序正常；如果相序指示燈不亮表明機械泵相序不正常。關(guān)掉總電源，將三相電源線中的任意兩相對調(diào)，以確保機械泵相序正確。
安裝時應注意以下幾點：
1、設備安裝應平地上豎直方向上與垂直方向夾角小于5度。安裝后要固定腳輪。
2、真空系統(tǒng)各連接部位應密封可靠，保證無泄漏發(fā)生。
3、水路系統(tǒng)接頭處應無滴漏。
4、建議把從機械泵排出的氣體引出室外。
分子泵機組使用注意事項：
1、應經(jīng)常檢查各導線及接地線是否短路，其絕緣層是否破損漏電。
2、真空腔體內(nèi)應保持清潔，經(jīng)常清除雜物。
3、裝入爐底料盤中的工件應符合要求，不能過高過大，以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現(xiàn)象。
4、設備運行時要注意保養(yǎng)，定期對冷卻水系統(tǒng)進行維護，以防止水垢的大量凝結(jié)，影響冷卻效果。
5、工作場地應保持衛(wèi)生整潔，以免塵土污染真空室。
更新時間：2022-08-08
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